闻代弗拉维涅罗（，弗拉 人口 于时的人口数量为人。东北部与上马恩省接壤。东南接汝拉省，东临上索恩省， 与接壤的市镇（或旧市镇、没有任何省道经过， 参见 科多尔省市镇列表 参考文献 F西接涅夫勒省和约讷省，UTC+02:00（夏令时）。）是法国科多尔省的一个市镇，
弗拉维涅罗（，弗拉 人口 于时的人口数量为人。东北部与上马恩省接壤。东南接汝拉省，东临上索恩省， 与接壤的市镇（或旧市镇、没有任何省道经过， 参见 科多尔省市镇列表 参考文献 F西接涅夫勒省和约讷省，UTC+02:00（夏令时）。）是法国科多尔省的一个市镇，
近年来，桐城牢固树立和践行“两山论”，在筑牢森林生态屏障的同时，大力发展以林下种植、养殖、旅游为主的林下经济，明方向、抓项目、创品牌，持续探索活“绿”创“富”的兴业富民路径。
明方向，精谋林下经济发展规划。结合本地森林资源现状与区域特色，桐城分区域、分地块、分品种做好林下经济发展规划，重点提升本区域传统种养项目，把林下中药材种植融入全市“锌产业”发展规划，重点推广桐城桔梗、多花黄精等特色品种，打造桐城特色与“富锌”林下经济品牌；培育森林景观利用新业态，唐湾镇蒋潭村在雾聚茶谷林下新置小木屋、太空舱等文旅设施，做大森林旅游、生态康养与乡村旅游产业，推动活“绿”创“富”。
抓项目，推动林下经济规模发展。桐城提高林企、林农对发展林下经济的认知，先后组织相关林企前往湖北神农架、罗田、英山和安徽亳州、金寨、潜山等地考察林下种植天麻、茯苓等中药材模式；争取中央与省级项目资金近300万元，在青草镇新建林下桔梗种植示范基地600亩，在唐湾镇利用茶园、林缘空闲地种植中药材吴茱萸300亩，二姑尖国有公益林场新建林下黄精种植示范基地300亩；各地结合实施“摇钱树”工程，引入社会资本发展林下种植项目，孔城、金神、嬉子湖等镇已发展白芨、桅子、知母、白术、前胡、白芍、牡丹、射干等中药材种植4000余亩。今年以来，全市累计新增林下中药材种植面积超5000亩。
创品牌，提升林下经济发展效益。“桐城桔梗”2020年已获批国家地理标志产品商标，桐城在青草镇设立示范种植基地，摸索种植技术，培育种植能手，制定种植规范，加强技术培训推广，提高单产与总产，把“桐桔梗”打造成区域品牌，在桐打造“安徽十大皖药”种植基地；建设多花黄精、白芨、知母、白术等中药材示范种植基地，加速融入富锌产业链，搭建企业、农户与高校、科研院所、技术推广单位之间的合作平台，推广适宜林间种植、养殖的新品种、新技术，增强地方产品优势，提升林下经济发展效益，助力林业增值、林企增效、林农增收。（通讯员 陈爱华）
编辑： 刘晓东" src="size: 14px; line-height: 28px;">近年来，桐城牢固树立和践行“两山论”，在筑牢森林生态屏障的同时，大力发展以林下种植、养殖、旅游为主的林下经济，明方向、抓项目、创品牌，持续探索活“绿”创“富”的兴业富民路径。
明方向，精谋林下经济发展规划。结合本地森林资源现状与区域特色，桐城分区域、分地块、分品种做好林下经济发展规划，重点提升本区域传统种养项目，把林下中药材种植融入全市“锌产业”发展规划，重点推广桐城桔梗、多花黄精等特色品种，打造桐城特色与“富锌”林下经济品牌；培育森林景观利用新业态，唐湾镇蒋潭村在雾聚茶谷林下新置小木屋、太空舱等文旅设施，做大森林旅游、生态康养与乡村旅游产业，推动活“绿”创“富”。
抓项目，推动林下经济规模发展。桐城提高林企、林农对发展林下经济的认知，先后组织相关林企前往湖北神农架、罗田、英山和安徽亳州、金寨、潜山等地考察林下种植天麻、茯苓等中药材模式；争取中央与省级项目资金近300万元，在青草镇新建林下桔梗种植示范基地600亩，在唐湾镇利用茶园、林缘空闲地种植中药材吴茱萸300亩，二姑尖国有公益林场新建林下黄精种植示范基地300亩；各地结合实施“摇钱树”工程，引入社会资本发展林下种植项目，孔城、金神、嬉子湖等镇已发展白芨、桅子、知母、白术、前胡、白芍、牡丹、射干等中药材种植4000余亩。今年以来，全市累计新增林下中药材种植面积超5000亩。
创品牌，提升林下经济发展效益。“桐城桔梗”2020年已获批国家地理标志产品商标，桐城在青草镇设立示范种植基地，摸索种植技术，培育种植能手，制定种植规范，加强技术培训推广，提高单产与总产，把“桐桔梗”打造成区域品牌，在桐打造“安徽十大皖药”种植基地；建设多花黄精、白芨、知母、白术等中药材示范种植基地，加速融入富锌产业链，搭建企业、农户与高校、科研院所、技术推广单位之间的合作平台，推广适宜林间种植、养殖的新品种、新技术，增强地方产品优势，提升林下经济发展效益，助力林业增值、林企增效、林农增收。（通讯员 陈爱华）
编辑： 刘晓东" class="thumb" alt="桐城“两山论” 林下经济成百姓“绿色福袋”" />桐城“两山论” 林下经济成百姓“绿色福袋”2026-07-19 15:41
庄稼祥一行首先前往多乐油脂科技有限公司，走进生产车间，与企业负责人深入交流，详细了解企业生产运营、技术研发、市场拓展、安全生产管理等情况。庄稼祥强调，实体经济是县域经济高质量发展的核心支撑，各相关部门要持续优化营商环境，主动靠前服务、精准对接需求，不折不扣落实各项惠企纾困政策，全力为企业发展保驾护航；企业要牢牢守住安全生产底线，持续加大科技创新投入，不断延伸产业链条、提升产品附加值，推动企业做大做强，为惠安产业升级注入新动能。
随后，庄稼祥一行先后前往惠安县W4排水主管网改造扩容工程螺阳镇锦里村段、林辋溪沿岸污水提升治理及面源污染治理项目（一期）辋川镇峰崎村段、惠安县城区沟河整治项目双拥路排水涵洞等项目现场，在林辋溪溪滨公园段开展巡河。庄稼祥实地察看项目施工进度，详细听取工程规划设计、治理目标以及河道巡护、生态保护等情况汇报，全面了解并现场协调解决项目推进过程中遇到的难点堵点问题。
庄稼祥指出，防洪排涝、水环境治理项目是事关群众生命财产安全和人居环境提升的重大民生工程，是补齐城市基础设施短板、完善城市功能、筑牢生态安全屏障的关键举措。各级各相关部门要始终坚持以人民为中心的发展思想，树牢系统观念，统筹推进防洪排涝、污水治理、水生态修复全链条工作，紧盯时间节点，倒排工期、挂图作战，在严把工程质量关和施工安全关的前提下，全力以赴加快项目建设进度，确保项目早建成、早投用、早见效；要坚持源头治理、标本兼治，持续深化流域水环境综合治理，不断改善县域水生态环境质量，切实提升城市宜居品质，增强群众的获得感、幸福感和安全感。
原标题：惠安县委主要领导带队调研产业发展、防洪排涝及污水治理提质增效工作，并开展巡河" src="3月16日下午，惠安县委书记庄稼祥带队前往东岭、螺阳、辋川、螺城等镇，深入企业生产一线、重点项目现场、林辋溪溪滨公园段，围绕产业发展、防洪排涝、水环境综合治理开展专题调研并巡河。县领导蒋舒翔、郭晓辉参加相关活动。
庄稼祥一行首先前往多乐油脂科技有限公司，走进生产车间，与企业负责人深入交流，详细了解企业生产运营、技术研发、市场拓展、安全生产管理等情况。庄稼祥强调，实体经济是县域经济高质量发展的核心支撑，各相关部门要持续优化营商环境，主动靠前服务、精准对接需求，不折不扣落实各项惠企纾困政策，全力为企业发展保驾护航；企业要牢牢守住安全生产底线，持续加大科技创新投入，不断延伸产业链条、提升产品附加值，推动企业做大做强，为惠安产业升级注入新动能。
随后，庄稼祥一行先后前往惠安县W4排水主管网改造扩容工程螺阳镇锦里村段、林辋溪沿岸污水提升治理及面源污染治理项目（一期）辋川镇峰崎村段、惠安县城区沟河整治项目双拥路排水涵洞等项目现场，在林辋溪溪滨公园段开展巡河。庄稼祥实地察看项目施工进度，详细听取工程规划设计、治理目标以及河道巡护、生态保护等情况汇报，全面了解并现场协调解决项目推进过程中遇到的难点堵点问题。
庄稼祥指出，防洪排涝、水环境治理项目是事关群众生命财产安全和人居环境提升的重大民生工程，是补齐城市基础设施短板、完善城市功能、筑牢生态安全屏障的关键举措。各级各相关部门要始终坚持以人民为中心的发展思想，树牢系统观念，统筹推进防洪排涝、污水治理、水生态修复全链条工作，紧盯时间节点，倒排工期、挂图作战，在严把工程质量关和施工安全关的前提下，全力以赴加快项目建设进度，确保项目早建成、早投用、早见效；要坚持源头治理、标本兼治，持续深化流域水环境综合治理，不断改善县域水生态环境质量，切实提升城市宜居品质，增强群众的获得感、幸福感和安全感。
原标题：惠安县委主要领导带队调研产业发展、防洪排涝及污水治理提质增效工作，并开展巡河" class="thumb" alt="惠安县委主要领导带队调研产业发展、防洪排涝及污水治理提质增效工作，并开展巡河" />惠安县委主要领导带队调研产业发展、防洪排涝及污水治理提质增效工作，并开展巡河2026-07-19 15:11在现代ULSI电路中沟道热载流子 (CHC) 诱导的退化是一个重要的与可靠性相关的问题。载流子在通过MOSFET通道的大电场加速时获得动能。当大多数载流子到达漏极时，热载流子（动能非常高的载流子）由于原子能级碰撞的冲击电离，可以在漏极附近产生电子—空穴对。其他的可以注入栅极通道界面，打破Si-H键，增加界面态密度。CHC的影响是器件参数的时间相关的退化，如VT、IDLIN和IDSAT。
这种通道热载流子诱导的退化（也称为HCI或热载流子注入）在NMOS和PMOS器件上都可以看到，并会影响所有区域的器件参数，如VT、亚阈值斜率、Id-on、Id-off、Ig等。每个参数随应力时间的退化速率取决于器件的布局和所使用的工艺。
图1. 通道热载流子退化
CHC退化测试的过程
一个典型的通道热载流子测试过程包括一个被测试器件（DUT）的初始化表征，然后是一个应力和测量循环[1]（图2）。在这个循环中，器件承受的电压高于正常工作电压的压力。器件参数包括IDLIN、IDSAT、VT、Gm等，在应力之间进行监测，并将这些参数的退化绘制为累积应力时间的函数。在进行此应力和测量循环之前，将测量同一组器件参数作为基线值。
图2. 典型的CHC测试过程
应力条件是基于最坏情况下的退化条件，这对于NMOS和PMOSFET是不同的。通常，对于漏极电压应力，它应小于源极漏极击穿电压的90%。然后，在漏极应力电压下，栅极应力电压因晶体管类型和栅极长度而不同。表1显示了使用不同技术[2]创建的NMOS和PMOSFET的最坏情况退化条件。
表1. NMOS和PMOS FETs的最坏情况应力条件
使用4200A-SCS半导体表征系统上的ITM可以很容易地确定最坏情况下的应力条件。
器件连接
在单个晶体管上执行CHC测试很容易。然而，每个CHC测试通常需要很长时间才能完成，所以希望有许多dut并行施加压力，然后在应力之间按顺序进行表征，以节省时间。为了实现这一点，需要一个开关矩阵来处理并行应力和应力之间的顺序测量。图3显示了针对多个DUT的典CHC测试的硬件配置。4200A-SCS提供了应力电压和测量能力，而开关矩阵支持并行应力和多个器件的顺序测量。
根据被测试器件的数量，使用可容纳一个矩阵开关（12个器件引脚）的708主机，或者使用最多6个矩阵开关（最多72个引脚）的707主机。不同栅极和漏极应力值的总数受到系统中SMU数量的限制。图4说明了使用8个SMU（总共8个不同的漏极和栅极应力偏差）加上一个接地单元（接地端子）并联20个晶体管对器件进行压力测试的连接图。
图3. 硬件配置连线图
图4. 使用8个SMU并行施加压力20个器件的示例。公共端子使用单独的接地单元（GNDU）。
确定器件参数
被监测的热载流子参数包括VTH、GM、IDLIN和 IDSAT。这些参数在应力之前首先测量，并在每个累积应力时间后重新测量。IDLIN是器件在线性区域测量漏极电流，而IDSAT是器件在饱和区域测量漏极电流。VTH和GM可以用恒流法或内插 / 外插法来确定。在内插 / 外插法中，VTH是由IDS- VDS曲线的最大斜率来确定。
4200A-SCS的公式编辑器工具大大简化了这些参数的提取。内置函数包括微分获得GM，MAX函数获得最大的GM（Gmext），以及最小二乘线拟合函数提取 VTH（Vtext）。计算这些参数的公式可以在4200A-SCS提供的HCI项目中找到，并在测试库中的相应的测试中找到。这些公式的一些例子包括：
GM = DIFF(DRAINI,GATEV)
GMEXT = MAX(GM)
VTEXT = TANFITXINT(GATEV,DRAINI,MAXPOS(GM))
最后一个公式（VTEXT）是ID-VG曲线在最大GM点处的切线拟合的x截距。图5说明了公式编辑器的界面。
图5. 4200A-SCS的公式编辑器界面
一旦这些参数从各个测试中计算出来，它们就可以通过选中“输出值”选项中的复选框来导出，以监测应力时间的退化。对于每个测试，都可以选择退出选项，允许系统跳过该器件，或者在器件出现故障时停止整个CHC测试。有关这些选项的更多详细信息，请参阅完整的4200A-SCS参考手册。
设置应力条件
在4200A-SCS软件的吉时利Clarius版本中增强的功能之一是项目树结构中可以增加一个应力循环，可以施加电压和电流应力。用户可以利用应力循环在预设时间上设置直流应力。每个周期的应力时间可以以线性或对数的方式进行设置（见图6）。该特性用于 CHC/HCI、NBTI、EM（电迁移率）和电荷捕获应用，以提供恒定的直流应力（电压或电流）。在应力 / 测量模式下，用户可以为被测器件的每个终端设置应力条件（图7）。在每个应力周期之后，4200A-SCS经过一个测量序列，其中可以包括任意数量和类型的用户定义的测试和参数提取。这些参数随时间的退化情况被绘制在应力图中。4200A-SCS的“工具包”体系结构为用户在创建测试序列和压力测量方面提供了巨大的灵活性。
对于关键参数，可以设置一个目标退化值（图7）。一旦该参数的退化超过了目标值，特定的测试将停止。通过消除不必要的压力和测量故障器件上的周期，将会节省了大量的时间。
图6. 应力循环设置页面
图7. 器件应力 / 引脚连接 / 退化目标值设置窗口
如果项目中定义了多个DUT，则可以使器件压力设置窗口中的“上一个器件”和“下一个器件”按钮在器件之间进行切换（图7）。“复制”和“粘贴”按钮可以用于将压力设置从一个器件复制到另一个器件中，而不需要在所有输入字段中重新输入所有信息。由于多个器件在不同的应力配置中并行施加应力，因此很难将所需的不同应力的数量和可用于应用它们的SMU的数量联系起来。按下“检查资源”按钮，可以很容易地确定是否有足够的SMU来处理所有涉及的压力，并查看这些SMU是如何分配给每个不同的压力的。如果开关矩阵连接到系统上，并且如果终端上的应力为0V，则默认使用接地单元。
图8a显示了一个单独的数据表（图8a），它可以合并到相应的应力设置窗口中，以保存有关周期指数、应力时间和从应力之间的测量中提取的监测参数的信息，如ID和VT。数据将以Excel文件格式（.xls）自动保存在项目目录中，将数据以文本或Excel文件的形式导出到其他位置。如果系统处于应力 / 测量模式，监测参数相对于预应力测量的退化会自动计算，并可以绘制在图8b中。有关更多压力测量的信息，在Clarius中提供的功能，请查阅完整的4200A-SCS参考手册。
a)
b)
图8. a) 应力数据表存储所有应力信息，包括应力期间的测量结果和应力之间测量的选定参数。b) 退化百分比数据作为应力时间函数的图
建立CHC项目
下面的步骤概述了构建CHC项目的典型过程。有关每个步骤的详细信息，请参考完整的4200A-SCS参考手册。
1. 创建项目结构
a. 确定开关矩阵是否可用
b. 确定是否有足够的SMU可用
c. 构建项目结构
2. 在应力之间建立测试
a. 如果使用了开关矩阵，进行开关连接。
b. 使用（ITMs）构建新的测试
c. 使用公式器工具计算器件参数
d. 在合理条件下设置退出
e. 对于监测退化，导出监测的参数值
f. 重复步骤b到步骤e，以监控更多的参数
3. 如果有多个DUT，则重复步骤2。
4. 在子项目中，设置应力条件。
a. 设置压力时间
b. 设置器件应力条件
i. 应力电压
ii. 引脚连接
iii. 目标退化值
iv. 进入下一个器件
5. 运行项目并检查退化数据
参数退化数据和原始测量数据在项目运行期间自动以Excel文件格式保存。因此，即使项目在完成前就停止了，也已经捕获了测量数据。应力之间的原始I-V曲线可以叠加在应力循环上，所以很容易看到I-V是如何作为应力时间的函数而退化的。图9显示了覆盖21个应力循环后的Vgs-Id曲线。
图9. 多个应力的叠加数据图
图10是一个在晶圆片上测试五个位置的CHC项目的例子。4200A-SCS通过与市场上最常见的半自动探针台兼容的内置驱动程序控制探针台的移动。
图10. 晶圆级CHC测试的范例
结论
Clarius中增强的应力测量循环可以轻松设置CHC测试。结合交互式测试界面、公式工具和强大的图形功能，Clarius使4200A-SCS成为评估器件可靠性参数的理想工具，如CHC诱导的MOSFETs退化，以及它在器件表征中更广为人知的作用。
参考
[1] JEDEC标准28-A，“Procedure for Measuring N-Channel MOSFET Hot-Carrier-Induced Degradation Under DCStress”，2001。
[2] Vijay Reddy，“An introduction to CMOS semiconductor Reliability”，IRPS教程，2004年。
" src="前言
在现代ULSI电路中沟道热载流子 (CHC) 诱导的退化是一个重要的与可靠性相关的问题。载流子在通过MOSFET通道的大电场加速时获得动能。当大多数载流子到达漏极时，热载流子（动能非常高的载流子）由于原子能级碰撞的冲击电离，可以在漏极附近产生电子—空穴对。其他的可以注入栅极通道界面，打破Si-H键，增加界面态密度。CHC的影响是器件参数的时间相关的退化，如VT、IDLIN和IDSAT。
这种通道热载流子诱导的退化（也称为HCI或热载流子注入）在NMOS和PMOS器件上都可以看到，并会影响所有区域的器件参数，如VT、亚阈值斜率、Id-on、Id-off、Ig等。每个参数随应力时间的退化速率取决于器件的布局和所使用的工艺。
图1. 通道热载流子退化
CHC退化测试的过程
一个典型的通道热载流子测试过程包括一个被测试器件（DUT）的初始化表征，然后是一个应力和测量循环[1]（图2）。在这个循环中，器件承受的电压高于正常工作电压的压力。器件参数包括IDLIN、IDSAT、VT、Gm等，在应力之间进行监测，并将这些参数的退化绘制为累积应力时间的函数。在进行此应力和测量循环之前，将测量同一组器件参数作为基线值。
图2. 典型的CHC测试过程
应力条件是基于最坏情况下的退化条件，这对于NMOS和PMOSFET是不同的。通常，对于漏极电压应力，它应小于源极漏极击穿电压的90%。然后，在漏极应力电压下，栅极应力电压因晶体管类型和栅极长度而不同。表1显示了使用不同技术[2]创建的NMOS和PMOSFET的最坏情况退化条件。
表1. NMOS和PMOS FETs的最坏情况应力条件
使用4200A-SCS半导体表征系统上的ITM可以很容易地确定最坏情况下的应力条件。
器件连接
在单个晶体管上执行CHC测试很容易。然而，每个CHC测试通常需要很长时间才能完成，所以希望有许多dut并行施加压力，然后在应力之间按顺序进行表征，以节省时间。为了实现这一点，需要一个开关矩阵来处理并行应力和应力之间的顺序测量。图3显示了针对多个DUT的典CHC测试的硬件配置。4200A-SCS提供了应力电压和测量能力，而开关矩阵支持并行应力和多个器件的顺序测量。
根据被测试器件的数量，使用可容纳一个矩阵开关（12个器件引脚）的708主机，或者使用最多6个矩阵开关（最多72个引脚）的707主机。不同栅极和漏极应力值的总数受到系统中SMU数量的限制。图4说明了使用8个SMU（总共8个不同的漏极和栅极应力偏差）加上一个接地单元（接地端子）并联20个晶体管对器件进行压力测试的连接图。
图3. 硬件配置连线图
图4. 使用8个SMU并行施加压力20个器件的示例。公共端子使用单独的接地单元（GNDU）。
确定器件参数
被监测的热载流子参数包括VTH、GM、IDLIN和 IDSAT。这些参数在应力之前首先测量，并在每个累积应力时间后重新测量。IDLIN是器件在线性区域测量漏极电流，而IDSAT是器件在饱和区域测量漏极电流。VTH和GM可以用恒流法或内插 / 外插法来确定。在内插 / 外插法中，VTH是由IDS- VDS曲线的最大斜率来确定。
4200A-SCS的公式编辑器工具大大简化了这些参数的提取。内置函数包括微分获得GM，MAX函数获得最大的GM（Gmext），以及最小二乘线拟合函数提取 VTH（Vtext）。计算这些参数的公式可以在4200A-SCS提供的HCI项目中找到，并在测试库中的相应的测试中找到。这些公式的一些例子包括：
GM = DIFF(DRAINI,GATEV)
GMEXT = MAX(GM)
VTEXT = TANFITXINT(GATEV,DRAINI,MAXPOS(GM))
最后一个公式（VTEXT）是ID-VG曲线在最大GM点处的切线拟合的x截距。图5说明了公式编辑器的界面。
图5. 4200A-SCS的公式编辑器界面
一旦这些参数从各个测试中计算出来，它们就可以通过选中“输出值”选项中的复选框来导出，以监测应力时间的退化。对于每个测试，都可以选择退出选项，允许系统跳过该器件，或者在器件出现故障时停止整个CHC测试。有关这些选项的更多详细信息，请参阅完整的4200A-SCS参考手册。
设置应力条件
在4200A-SCS软件的吉时利Clarius版本中增强的功能之一是项目树结构中可以增加一个应力循环，可以施加电压和电流应力。用户可以利用应力循环在预设时间上设置直流应力。每个周期的应力时间可以以线性或对数的方式进行设置（见图6）。该特性用于 CHC/HCI、NBTI、EM（电迁移率）和电荷捕获应用，以提供恒定的直流应力（电压或电流）。在应力 / 测量模式下，用户可以为被测器件的每个终端设置应力条件（图7）。在每个应力周期之后，4200A-SCS经过一个测量序列，其中可以包括任意数量和类型的用户定义的测试和参数提取。这些参数随时间的退化情况被绘制在应力图中。4200A-SCS的“工具包”体系结构为用户在创建测试序列和压力测量方面提供了巨大的灵活性。
对于关键参数，可以设置一个目标退化值（图7）。一旦该参数的退化超过了目标值，特定的测试将停止。通过消除不必要的压力和测量故障器件上的周期，将会节省了大量的时间。
图6. 应力循环设置页面
图7. 器件应力 / 引脚连接 / 退化目标值设置窗口
如果项目中定义了多个DUT，则可以使器件压力设置窗口中的“上一个器件”和“下一个器件”按钮在器件之间进行切换（图7）。“复制”和“粘贴”按钮可以用于将压力设置从一个器件复制到另一个器件中，而不需要在所有输入字段中重新输入所有信息。由于多个器件在不同的应力配置中并行施加应力，因此很难将所需的不同应力的数量和可用于应用它们的SMU的数量联系起来。按下“检查资源”按钮，可以很容易地确定是否有足够的SMU来处理所有涉及的压力，并查看这些SMU是如何分配给每个不同的压力的。如果开关矩阵连接到系统上，并且如果终端上的应力为0V，则默认使用接地单元。
图8a显示了一个单独的数据表（图8a），它可以合并到相应的应力设置窗口中，以保存有关周期指数、应力时间和从应力之间的测量中提取的监测参数的信息，如ID和VT。数据将以Excel文件格式（.xls）自动保存在项目目录中，将数据以文本或Excel文件的形式导出到其他位置。如果系统处于应力 / 测量模式，监测参数相对于预应力测量的退化会自动计算，并可以绘制在图8b中。有关更多压力测量的信息，在Clarius中提供的功能，请查阅完整的4200A-SCS参考手册。
a)
b)
图8. a) 应力数据表存储所有应力信息，包括应力期间的测量结果和应力之间测量的选定参数。b) 退化百分比数据作为应力时间函数的图
建立CHC项目
下面的步骤概述了构建CHC项目的典型过程。有关每个步骤的详细信息，请参考完整的4200A-SCS参考手册。
1. 创建项目结构
a. 确定开关矩阵是否可用
b. 确定是否有足够的SMU可用
c. 构建项目结构
2. 在应力之间建立测试
a. 如果使用了开关矩阵，进行开关连接。
b. 使用（ITMs）构建新的测试
c. 使用公式器工具计算器件参数
d. 在合理条件下设置退出
e. 对于监测退化，导出监测的参数值
f. 重复步骤b到步骤e，以监控更多的参数
3. 如果有多个DUT，则重复步骤2。
4. 在子项目中，设置应力条件。
a. 设置压力时间
b. 设置器件应力条件
i. 应力电压
ii. 引脚连接
iii. 目标退化值
iv. 进入下一个器件
5. 运行项目并检查退化数据
参数退化数据和原始测量数据在项目运行期间自动以Excel文件格式保存。因此，即使项目在完成前就停止了，也已经捕获了测量数据。应力之间的原始I-V曲线可以叠加在应力循环上，所以很容易看到I-V是如何作为应力时间的函数而退化的。图9显示了覆盖21个应力循环后的Vgs-Id曲线。
图9. 多个应力的叠加数据图
图10是一个在晶圆片上测试五个位置的CHC项目的例子。4200A-SCS通过与市场上最常见的半自动探针台兼容的内置驱动程序控制探针台的移动。
图10. 晶圆级CHC测试的范例
结论
Clarius中增强的应力测量循环可以轻松设置CHC测试。结合交互式测试界面、公式工具和强大的图形功能，Clarius使4200A-SCS成为评估器件可靠性参数的理想工具，如CHC诱导的MOSFETs退化，以及它在器件表征中更广为人知的作用。
参考
[1] JEDEC标准28-A，“Procedure for Measuring N-Channel MOSFET Hot-Carrier-Induced Degradation Under DCStress”，2001。
[2] Vijay Reddy，“An introduction to CMOS semiconductor Reliability”，IRPS教程，2004年。
" class="thumb" alt="MOSFET热载流子效应退化测试解析" />MOSFET热载流子效应退化测试解析2026-07-19 14:55
图为活动现场。
今年3月5日是第63个学雷锋纪念日，当天，“学雷锋 做志愿 共同奋进‘十五五’”——2026年池州市“3·5”学雷锋纪念日主题志愿服务活动启动仪式在主城区秀山门广场举行。活动由市委社会工作部、团市委、贵池区委社会工作部联合主办，贵池区池阳街道协办。
活动现场暖意融融、氛围浓厚，便民服务摊位整齐有序排列，惠民义剪、手机贴膜、电瓶车检修等贴心服务一应俱全。一旁的“生活垃圾分类宣传专区”同样人气高涨，垃圾分类模拟投放游戏吸引了众多市民驻足参与，大家在欢声笑语中学习分类知识。
“有了这样的义剪活动，给我们生活带来了大方便。”88岁的贵池区池阳街道古舜社区居民吴朋好一边理发，一边笑着说。另一边，有着10年志愿服务经历的社区居民江明久正专注地为群众修补鞋子，谈及参加志愿服务，他感慨道：“能为大家做些力所能及的小事，把雷锋精神落到实处，就是我们做志愿服务的意义。”穿上刚修补好的鞋子，居民束玉兰脸上露出满意的笑容，对着江明久连连点赞。
活动中，市三献志愿者协会优秀会员、全国无偿献血志愿服务奖获得者徐叶和，青阳县青年志愿者协会副会长、2025年度安徽省志愿服务之星李周旭，现场分享了自己的志愿服务经历与感悟。徐叶和动情地说：“做志愿者这么多年，每当看到身边伙伴们无私奉献的身影，我都能感受到深深的大爱与温暖。这份感动支撑着我，我会一直把这份温暖传递下去。”当天，志愿者们为群众发放法律援助、医疗卫生、反诈宣传等各类资料，倾听群众诉求、征集居民微心愿，精准对接群众急难愁盼，把便民服务送到群众心坎上。
截至目前，池州市已有注册志愿者35.5万人、志愿服务组织1588余个、志愿服务项目2.7万余个，全年开展各类志愿服务活动超5000场次，志愿力量已成为基层治理的重要支撑。市委社会工作部社会工作人才和志愿服务科科长查韵珊表示，我市将持续健全新时代志愿服务体系，深化“池久志愿”品牌建设，培育特色志愿服务项目，让雷锋精神在基层治理的实践中绽放光彩，为奋进“十五五”凝聚起向上向善的强大合力。（记者潘欢欢/文 吴骏/图）
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图为活动现场。
今年3月5日是第63个学雷锋纪念日，当天，“学雷锋 做志愿 共同奋进‘十五五’”——2026年池州市“3·5”学雷锋纪念日主题志愿服务活动启动仪式在主城区秀山门广场举行。活动由市委社会工作部、团市委、贵池区委社会工作部联合主办，贵池区池阳街道协办。
活动现场暖意融融、氛围浓厚，便民服务摊位整齐有序排列，惠民义剪、手机贴膜、电瓶车检修等贴心服务一应俱全。一旁的“生活垃圾分类宣传专区”同样人气高涨，垃圾分类模拟投放游戏吸引了众多市民驻足参与，大家在欢声笑语中学习分类知识。
“有了这样的义剪活动，给我们生活带来了大方便。”88岁的贵池区池阳街道古舜社区居民吴朋好一边理发，一边笑着说。另一边，有着10年志愿服务经历的社区居民江明久正专注地为群众修补鞋子，谈及参加志愿服务，他感慨道：“能为大家做些力所能及的小事，把雷锋精神落到实处，就是我们做志愿服务的意义。”穿上刚修补好的鞋子，居民束玉兰脸上露出满意的笑容，对着江明久连连点赞。
活动中，市三献志愿者协会优秀会员、全国无偿献血志愿服务奖获得者徐叶和，青阳县青年志愿者协会副会长、2025年度安徽省志愿服务之星李周旭，现场分享了自己的志愿服务经历与感悟。徐叶和动情地说：“做志愿者这么多年，每当看到身边伙伴们无私奉献的身影，我都能感受到深深的大爱与温暖。这份感动支撑着我，我会一直把这份温暖传递下去。”当天，志愿者们为群众发放法律援助、医疗卫生、反诈宣传等各类资料，倾听群众诉求、征集居民微心愿，精准对接群众急难愁盼，把便民服务送到群众心坎上。
截至目前，池州市已有注册志愿者35.5万人、志愿服务组织1588余个、志愿服务项目2.7万余个，全年开展各类志愿服务活动超5000场次，志愿力量已成为基层治理的重要支撑。市委社会工作部社会工作人才和志愿服务科科长查韵珊表示，我市将持续健全新时代志愿服务体系，深化“池久志愿”品牌建设，培育特色志愿服务项目，让雷锋精神在基层治理的实践中绽放光彩，为奋进“十五五”凝聚起向上向善的强大合力。（记者潘欢欢/文 吴骏/图）
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